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英特尔已开始出货采用ASML High-NA EUV扫描仪制造部件的笔记本处理器，这标志着该下一代光刻工具首次在英特尔18A制程中用于大批量生产。
imec展示了世界上首个采用高NA EUV光刻制造的量子点量子比特器件，实现了量子比特控制栅极之间的纳米级间隙，为硅基量子计算机的工业规模化铺平了道路。